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SOYI系列真空鍍膜電源簡介
本公司生產的真空鍍膜電源（真空蒸發鍍膜電源和真空濺射鍍膜電源）
有以下特點：1、恒壓，恒功率
2、抑制靶材弧光放電及抗短路功能, 具有佳的負載匹配能力。
3、工藝重復性好。
4、提高成膜速度， 實現量的濺射膜層。
SOYI系列真空鍍膜電源技術參數
品名 真空鍍膜電源
型號 SOYI系列
輸入 相數 單相或三相
電壓 220/380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線（含地線）
輸出 波形 直線
功率 30KW /60KW /100KW（可定制）
電壓 0—1200V（可定制）
穩定度 ≤1%
電流 0—200A（可定制）
穩定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 功率 可選擇
電壓 恒壓控制，可本地控制也可通過0-10V或4-20mA
電流 可選擇
保護 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能
冷卻 風冷
外型 外殼
尺寸(W*D*H) 482.6mm*600mm*266.7mm（30KW）
重量 30KG（30KW）
