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X射線光電子能譜儀（X-ray Photoelectron Spectroscopy，XPS）是廣泛應用于材料科學領域的高技術分析儀器，主要用于固體材料的表面（2～3nm深度）元素成分和價態的定性和定量分析。Kratos公司作為世界上較早生產商品化X射線光電子能譜儀的廠家之一，其產品在世界上許多的大學、科研機構和企業公司中都有應用。
測試內容: （1）提供樣品表面和內部成分分析，可采用氬離子濺射處理，同時可進行剖面AES分析； （2）固體樣品可提供<50oC角度側傾掃，提供表面 2-10nm精細元素分布分析； （3）可進行微區元素分析； （4）儀器精度：0.05eV。 應用范圍： 電子能譜儀主要用于表面的成分分析和表面元素化學狀態的分析，主要使用范圍如下：（1）半導體大規模、超大規模集成電路的研究; （2）冶金工業：尋求各種表面處理技術，以獲得材料的特殊性能，如耐磨性、高硬度，耐腐蝕性等；（3）固體化學；研究固體的表面吸附，表面反應和表面化學狀態；（4）材料科學：研究材料表面的成分和結構，探索表面性能。
