產品簡介 全新的一體化設計，具有優異的光學成像質量，方便使用的正像光學系統，是理想的檢測半導體器件的工具，支持3種激光波長，可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術。可以廣泛應用于半導體、電子、冶金等行業的制造和研究領域。 描述 ● 人機工程頭部 PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-　30°轉動，調整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。 ● 管鏡 PSM-1000的管鏡轉盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據需要進行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優化，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優化，當使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。 ● 光路切換拉桿 通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時從攝像接口上入射的激光的進入光路，提高了激光效率；當轉換器拉桿往里推時，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。 ● 偏光觀察 主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察。 ● 調焦機構 PSM-1000的調焦機構轉動舒適，工作。調焦機構較大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。 ● 轉換器 PSM-1000采用4孔可調中轉換器，使用隨機配送的調中鑰匙，可以很方便地調整物鏡的齊中。 ● 物鏡 PSM-1000采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡，提供了優異的成像質量。關于物鏡的具體參數請參照APO物鏡樣本。 ● 數碼攝像系統 根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數碼攝像系統，就可以在電腦、電視或監視器上同步觀察。 ● 照明系統 采用同軸垂直照明系統，光源采用外置冷光源。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。 ● 探測工作站 PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進行硅片的測試。 ● 激光裝置 PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補償墊片。無需專用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。 注:在安裝和使用激光器之前，請您仔細閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產生的安全和性能問題，麥克奧迪實業集團有限公司對此概不負責。 規格說明 PSM-1000主要技術參數 鉸鏈式三目頭 圖像 正像 瞳距 調節范圍 55-75mm 視場直徑 24mm 分光比 可通過光路切換拉桿自由切換（雙目頭：第三目=100:0或50:50） 主體 管鏡 1X（可對紫外及紅外線進行優化），2X 激光的使用 拉出光路切換拉桿即可 可應用的激光 1064/532/355 nm NWR laser 調焦機構 粗微調手輪 調焦行程：50mm；粗動手輪4mm/轉；微動手輪0.1mm/轉 調焦機構較大承重量 20.5kg 攝像接頭 C-Mount接頭 照明系統 同軸垂直照明，可變孔徑光欄 冷光源(選配) 150W冷光源照明器及工業顯微鏡光纖（2m） 物鏡轉換器 四孔物鏡轉換器，中心可調，可拆卸 物鏡（選配） 長工作距離平復消色差物鏡 2X, 5X, 10X, 20X, 50X 超長工作距離復消色差物鏡 50X, 100X 可調焦長工作距離復消色差物鏡 2X, 5X, 10X, 20X, 50X 可調焦超工作距離復消色差物鏡 50X, 100X NIR超長工作距離復消色差物鏡 20X, 50X 重量 主體：6.8kg；冷光源照明器：2.5kg