與傳統UV光源相比， EUV燈光源所提供的特性能增加和改進紫外線在工業、化學制備及生物醫藥上的用途。單色的光譜及可選擇特定波長的特性使得光刻工藝可以在聚焦更的方式下進行。而且不會產生額外的熱效應，因為E-UV光源的頻譜中不含紅外線。
Excimer“準分子”是excited dimer“受激二聚物”的縮寫。它本質是一對原子和一個受激發的氣體原子，通常沒有被束縛在基態。
（Xe Xe* = Xe2* (Excimer)）
惰性氣體或惰性氣體與鹵素氣體的混合物可形成準分子，這種準分子的狀態極為短暫。在準分子分解的過程中，釋放出光譜非常集中的準單色UV光。產生的UV光都是單一的光譜線，其不同帶寬取決于所選擇的氣體。
目前，有很多種不同的準分子化合物都能產生波段在120nm到380nm的UV光。光源只提供凈的UV光，光譜中不含紅外線
成分。
氣體放電是由高頻電磁場產生的，因此不需要電極。為防止光源發熱，高功率準分子光源需要和水冷系統共同運轉。
分類：
1. 半導體
硅晶圓的表面清潔，表面活化，軟刻蝕，預涂層處理，氧化層化學氣相沉積。
2. 平板顯示器
干燥清潔玻璃基板，LCD制造工序，表面活化，TFT陣列制程，cell制程，C/F表面處理。
3. 環境科技
產生臭氧，阻止空氣和水污染，生產制造凈水，分解含氯基的有機物。
4. 表面處理
各類樹脂和金屬表面活化。
EUV燈的優點：
1. 能大量輸出真空紫外光：以較低的功耗輸出大量真空紫外光；
2. 能夠瞬時點亮，熄滅再點亮；
3. 使用高頻電源的優點：通過減小電源的規格降低功耗；
4. 低功率可確保燈的使用壽命；
5. 光高分散輻射；
6. 低溫發光：通過抑制燈源發熱防止熱損壞。
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EUV燈
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