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微電子實(shí)驗(yàn)室化學(xué)濕臺腐蝕臺
濕臺整體采用德國磁白色PP板材料，經(jīng)雕刻后組合焊接加工而成。每個清洗槽都可同時清洗腐蝕2個花籃。槽體材質(zhì)具有良好的抗腐蝕抗酸性能。機(jī)械手在槽間的轉(zhuǎn)換靠PLC來控制，美國導(dǎo)軌和機(jī)械手來滿足工藝時序。設(shè)備操作過程全自動控制，人機(jī)界面為觸摸屏，有安全保護(hù)故障代碼，故障報警裝置，全程PLC控制，觸摸屏操作。大大節(jié)省人工工時，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，外型美觀。適合于高?；瘜W(xué)實(shí)驗(yàn)室作實(shí)驗(yàn)設(shè)備，也可用于半導(dǎo)體微電子行業(yè)作清洗線。非標(biāo)規(guī)格，具體規(guī)格依客戶工藝確定。
