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■適用范圍
西門子法多晶硅還原爐鐘罩（爐筒）內壁的全自動清洗和烘干。
■工作原理
以高壓水射流為動力,以水力自驅動三維洗罐器為噴頭，形成360°的網狀噴射表面，完成鐘罩內部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用水（去離子水或叫脫鹽水）漂洗，用水沖洗，完成清洗過程。
用經過三級凈化（10萬級）的凈空氣，梯級加熱，終烘干完的鐘罩不再結露，可直接進入生產作業。
■系統特點
1) 技術能力強，設計合理，根據客戶需求，總結借鑒國內外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經驗，充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢，設計出本套系統，實現了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。可根據使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設計。
2) 設備性能，核心部件、元件和附件原裝。
3) 自動化程度高：PLC 觸摸屏柔性自動控制系統，實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。
4) 適應范圍廣：可以在一套系統實現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。
5) 節能、環保、安全：提供了預熱（余熱蒸汽、余熱水或油）加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統，基本消除了對現場及操作人員的污染。
■工作流程
還原爐鐘罩到位—預清洗—清洗劑（堿液）清洗—漂洗—水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。
注：清洗劑的選擇對清洗效果和作業安全有直接影響，這方面我公司積累了豐富的實踐經驗解決閃爆等問題。
