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產品推薦
類型
渦輪分子泵
品牌
大阪真空機器制作所
型號
超高真空型TG-ML
材質
-
日本大阪真空機器制作所 磁懸浮復合分子泵超高真空型TG-ML
大幅度減低了振動的TG-ML系列
半導體制造已經步入到 進一步的「微小化」，「高度集成化」。并且，在分析，測量，檢查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。
為了實現微細加工以及微細領域的一些測量分析等，即使提升控制技術，設備有振動就無意義了。所以在非常需要減低泵的振動。
用途
■ EUV曝光等新一代半導體制造
■ 高精度、高性能的電子顯微鏡，分析裝置，測量裝置等
TG-ML系列の振動特性
把泵體的振動值成功的控制在1nm以內！ ※本公司的測定方法
■ 如果安裝專用減振器，還可以再把振動值降低一個數量級！
規格
TG390ML | TG420ML | TG900ML | TG1300ML | ||
吸氣口法蘭 | VG100 | VG150 | VG150 | VG200 | |
CF100 | CF160 | CF160 | CF200 | ||
ISO-B100 | ISO-B160 | ISO-B160 | ISO-B200 | ||
抽氣速度 (L/s) | N2 | 340 | 400 | 900 | 1300 |
(附帶金屬保護網) N2 | 320 | 370 | 860 | 1230 | |
H2 | 290 | 300 | 1050 | 1200 | |
較大壓縮比 | N2 | 1 產品推薦
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日本大阪真空機器制作所 磁懸浮復合分子泵超高真空型TG-ML
“日本大阪真空機器制作所 磁懸浮復合分子泵超高真空型TG-ML”信息由發布人自行提供，其真實性、合法性由發布人負責。交易匯款需謹慎，請注意調查核實。
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