恒溫恒壓冷凍機在MOCVD半導體芯片設備的應用,MOCVD半導體芯片設備冷卻循環設備，MOCVD設備水循環冷卻系統冷水機，MOCVD半導體芯片設備制冷機的選型，MOCVD設備冷卻恒溫恒壓冷凍機，MOCVD設備降溫冷水機

冷水機又稱為冷凍機、制冷機、冰水機、凍水機、冷卻機、水冷機等。

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一、 系統參數

爭對深圳一生產LED芯片廠家的現狀，現車間有5臺MOCVD機、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機各1臺，根據客戶需要進行恒溫恒壓供水設計。

初步設計5臺MOCVD機分別由2臺40HP和1臺20HP制冷系統分別對其進行恒溫恒壓供水，高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機1臺的供水由1臺15HP制冷系統進行恒溫恒壓供水，依據參數設計如下表：

二、變頻恒壓供水特點: 1、恒壓供水能自動24小時維持恒定壓力，并根據壓力信號自動啟動備用泵，無級調整壓力，供水質量好，與傳統供水比較，不會造成管網破裂及水龍頭共振現象。 2、動平滑，減少電機水泵的沖擊，延長了電機及水泵的使用壽命，避免了傳統供水中的水錘現象。 3、采用變頻恒壓供水保護功能齊全，運行可靠，具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護功能。 4、系統配置可實現全自動定時供水,徹底實現無人值守自動供水.控制系統具有故障報警和顯示功能,并可進行工變頻轉換,應急供水。 5、系統根據用戶用水量的變化來調節水泵轉速，使水泵始終工作在高效區，當系統零流量時,機組進入休眠狀態,水泵停止，流量增加后才進行工作,節電效果明顯，比恒速水泵節電23%-55%。 6、變頻恒壓供水設備不設樓頂水池，既減少建筑物的造價，又克服了水源二次污染，氣壓波動大，水泵啟動頻繁和建造水塔一次性投資大，施工周期長，費用高等缺點。 7、整套設備只需一組控制柜和水泵機組，安裝非常方便，占地面積少。 8、本設備采用全自動控制，操作人員只需轉換電控柜開關，就可以實現用戶所需工況，操作簡單。

三、系統組成

本工程為冷凍水循環系統，采用2臺40HP水冷開放式冷水機、1臺20HP水冷開放式冷水機、1臺15HP水冷開放式冷水機組，系統分成3組循環；

1）水塔和制冷主機稱為冷卻水循環，此循環為自來水，為制冷主機散熱冷卻；

2）制冷主機與儲水箱之間為內部循環，此循環為純凈水，制冷主機把儲水箱內的水降到18-20℃；

3）儲水箱與MOCVD之間的為外部冷凍水循環，此循環為純凈水，高壓水泵把水箱內18-20℃水經精密過濾器后送到MOCVD設備，從設備出來23-25℃的水回至儲水箱，進入MOCVD設備的入水壓力在4-6bar之間，且壓力可通過控制面板的設定來調節所需的值。

冷卻水及其它配件內循環水泵、外循環水泵、冷卻水塔、冷水儲水箱、變頻器、點壓力變送器、高精密過濾器等組成。

四、恒壓供水工作原理: （以40HP帶2臺MOCVD設備為例，參考圖紙恒壓供水設備示意圖） 1） 外循環變頻恒壓供水系統采用壓力控制器面板設定點壓力（進入2臺設備前的水壓力值），采用2個壓力傳感器（反饋為4~20mA）檢測水管中壓力，壓力傳感器將信號送入變頻器PID回路，PID回路處理之后，送出一個水量增加或減少信號，控制馬達轉速，來調節入水的壓力值。

2） 如進入2臺MOCVD的壓力不同，控制器的PLC會自動計算出進入2臺MOCVD前的點壓力平均值，再反饋為4~20mA給變頻器的PID回路，盡量使進入2臺MOCVD的入水壓力相同，使實際水管壓力與設定壓力相一致。

3）設定值與實際值產偏差可在±0.5bar，進水壓力可恒定在設定值的所允許的范圍內（±0.5bar）。

4）當2臺MOCVD的進水壓力過高或過低時，裝在系統管道上的壓差旁通會進自動調節水的流向，使進入臺MOCVD實際水管壓力與設定壓力相一致，隨著用水量的減少，變頻器自動減少輸出頻率，達到了節能的目的。

五、恒溫供水說明（參考圖紙恒壓供水設備示意圖）

恒溫體現在內循環系統上，制冷主機與儲水箱之間為內部循環，此循環為純凈水，制冷主機把儲水箱內的水溫恒定到18-20℃；

△ T---表示溫度偏差，表示壓縮機加載或卸載的溫度差（△T以下設定為

0.5℃）。

T ---表示水箱的實際溫度值

Ts---表示水箱的設定溫度值（Ts以下設定為18.5℃）

能量調節；有2個壓縮機：在升溫過程中，當T>Ts時啟動1臺壓縮機，當T >= Ts+△T時啟動2臺壓縮機；在降溫過程中，當T<Ts時，停一臺，當T<Ts－△T時全停。

升溫過程中，△T設定0.5℃，如水箱溫度Ts設定18.5℃，當水箱內實際溫度T≥19℃，控制器1#和2#壓縮機輸出，壓縮機延時開啟，機組進行制冷 ，水箱內溫度下降；

降溫過程中，水箱溫度Ts設定18.5℃，當水箱內實際溫度T＝18.5℃時，2#壓縮機停止輸出，2#壓縮機停止運行，只開啟1個壓縮機，當水箱內實際溫度T＝18℃時, 1#壓縮機停止輸出，此時所有壓縮機全部停止運行，機組處于待機恒溫狀況。

如此往復循環，水箱內溫度可穩定在18-20℃之間，

機組次使用需提前半個小時開機，以便水箱溫度達到設定的溫度