ASC4000系列臺式勻膠機
簡介
ASC4000系列勻膠機（旋涂儀）在上一代ASC勻膠機基礎進行了新的設計，廣泛應用于晶片，光學和平板顯示基片的旋涂工藝，其良好的勻膠性和高速平穩的速度使得勻膠厚度從厚至薄都始終保持高度均勻。配置閉環式高性能無碳刷直流電機的ASC系列勻膠系統提供精度為±1rpm的旋涂勻膠速度，可以滿足高校，國家實驗室及研發中心的相關應用；ASC系列勻膠機具有準確性，可重復性和穩定性，能提供最好的旋涂或勻膠性能。
ASC 4100
技術規格1
設備 | ASC - 4100 |
基片尺寸 | Pieces ~max Ø 4" ?80mm |
勻膠速度 | 80 ~ 6000 rpm |
旋涂加速度 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
旋涂馬達 | BLDC Spin Motor (Hollowness axis) |
旋涂腔體 | Ø 230 HDPP Bottom & cover |
顯示 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 |
程序 | PLC, 20 Recipes / 10 Steps |
真空泵 | 無油真空泵 |
電源 | 220VAC/110VAC, 5A |
ASC 4200 ASC 4200A
技術規格2
設備 | ASC - 4200 | ASC - 4200A |
基片尺寸 | Pieces ~max Ø 6" ?100mm | Pieces ~max Ø 8" ?150mm |
勻膠速度 | 80 ~ 6000 rpm | 0~ 6000rpm |
旋涂加速度 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
旋涂馬達 | BLDC Spin Motor (Hollowness axis) | AC Servo 250w Spin Motor |
旋涂腔體 | Ø 230 HDPP Bottom & cover | Ø 330 HDPP Bottom & Top cup |
顯示 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 | 7英寸LCD 觸控顯示屏 |
程序 | PLC, 20 Recipes / 10 Steps | |
真空泵 | Oil-less Vacuum Pump | |
電源 | 220VAC, 5A | |
儀器介紹
勻膠機有許多名稱：甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂膜儀等,主要應用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同, 也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
