東莞市莞鑫工業設備制造有限公司超高真空擴散泵油極限真空測試條件的探討
1、探討了274、275超高真空擴散泵油極限真空測試過程中,除氣、循環冷卻水溫度、冷阱及環境
溫度等因素對測試結果的影響。結果表明,冷阱對測試結果影響不大,除氣、循環冷卻水溫度及環境溫
度對測試結果影響極大,必須徹底除氣同時將溫度控制在10~25℃,才能準確測試出極限真空度。
2、真空技術在許多工業部門及技術中得到了廣泛的應用。真空測量技術在工業生產及科技領
域中具有極其重要的意義。真空測試系統由擴散泵及真空測量儀表組成。擴散泵主要有金屬轉動真空泵
、金屬擴散真空泵和玻璃擴散真空泵3種;超高真空測量儀表有B-A式電離真空計、冷陰極磁控式電離真
空計、場放顯微鏡3種。本實驗采用了玻璃擴散真空泵和B-A式電離真空計的真空測試系統。由于測試極
限真空的過程復雜,控制參數較多,使得影響測試結果的因素較多,樣品的極限真空重復性差,誤差可
達2個數量級;因此,探討影響極限真空測試結果的因素,提高測試數據的相對穩定性,對準確測定274
、275超高真空擴散泵油極限真空尤為重要。
3、在用前級泵不斷抽空時,油在泵底被電爐加熱,形成蒸汽流,沿中央管筒上升,在噴口處受噴
口蓋阻擋以極高的速度從噴口噴出;這時油分子由于溫度很高且噴口截面積陡然變小而受到壓縮,因此
流動速度加快。如果油蒸汽在噴口附近和空氣分子相碰撞,大部分的空氣分子會擴散、混合到油蒸汽流
中;油蒸汽被溫度低得多(用水冷卻)的泵壁冷卻,重新凝結成液體再次流入泵底,而氣體分子不會凝結
,在泵的下端被前級泵連續抽除,使系統達到高真空。
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