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真空系統采用水封泵 油封泵的組合方式。初期排除空氣由大功率的油封泵組快速預抽。維持工作真空用小功率的羅茨水封泵組工作，可降低能耗，同時水封泵組又可抽除水蒸氣，避免了油封泵由于排水性能差，水汽使泵油乳化變質，近而造成系統真空度不穩定的弊端。加熱為封閉式水循環系統，采用三通調節閥自動調節水循環系統的供熱量，控制加熱板溫度，另由氮氣自動定壓，熱水工作溫度至120℃。采用后置式及側置式捕水冷阱，與分體外置式冷相比，通路短，阻力小，水汽通路設計流暢，捕水均勻，提高捕水效率。捕水冷阱采用氨單相循環制冷的特有方式，較通用的供液方式相比，制冷供液穩定性好，易操作。
