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等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
等離子廢氣凈化器采用標準模塊設計等優點,是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，換及維護保養方便。
等離子凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，頂部放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態物質，其所擁有的 電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。
等離子凈化器的特點：
1、處理效果好，在額定處理風量小，去除率達95%以上，顆粒物去除率達95%以上。
2、二次油回收量大、純度高，可在短期內收回設備投資。
3、設備帶有完善的電氣保護功能。
4、模塊式結構、多電源控制，在部分電源停止工作的情況下不影響設備使用。
5、容易清洗維護，只需打開設備檢修門取出電場浸泡沖洗就可以。
6、具有放電跳停、電源過載保護和變壓器過溫保護、設備運行可靠。
7、精密的圓筒蜂巢電場，能使設備具有良好的除油霧效果。
