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真空艙體 W160mm × H160mm × D325 mm (8 升)
* 鋁，可視觀察玻璃，帶安全保護艙門
* 40KHz 射頻發生器
* 針孔電極
* 數字計時器可自動設定操作程序
* 銅氣體管、氣體流量計、 針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 全自動控制
* 功率連續可調 0-300W
* 自動阻抗匹配
* 自由設置參數：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發、艙門鎖
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入反應艙
* 規格：W600mm × H1700mm × D650mm
* 電源：AC 400V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D4B (4 m3/h)
