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gentec 捷銳R21系列 產品的結構特性
R21 結 構 特 點
單級式減壓結構
膜片與母體采用硬密封形式
母體接口螺紋：1/4” NPT (F)
安全壓力：1.5 倍的較大輸入壓力
適用溫度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He
CV 值：0.14
重量：0.9 kg (2.0 lbs)
R21 材 質
母體：銅電鍍，316L
閥座：PCTFE，PTFE，Vespel
膜片：316L，Hastelloy
R21 適 用 范 圍
半導體制程
實驗室
氣相分析
測試儀表
石油化學工業
電廠設備
