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美國MKS1179A氣體質(zhì)量流量計MKS1479A質(zhì)量流量計MKS2179A質(zhì)量流量計MKS1559A質(zhì)量流量計
美國MKS1179A質(zhì)量流量控制器（通用型）
1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當今市場上的質(zhì)量流量控制器，1179A可作為直接替代的產(chǎn)品，標準的3英寸底座使1179能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 的全量程。
測量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.
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