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美國(guó)MKS 2179A質(zhì)量流量控制器（帶截止閥）
2179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，它帶有一個(gè)關(guān)閉閥，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。
常閉的氣密關(guān)閉閥門正向關(guān)閉時(shí)的泄漏量?jī)H為4 x 10-9 scc/sec（He）。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1％和讀數(shù)的1％。2179A具有很小的功耗：在常規(guī)直流±15V供電工作時(shí)，單元電流僅有100mA（在初開機(jī)階段為200mA）。
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