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隨著微粒和金屬污染的數(shù)量級逐漸減小，以及對這方面的污染控制非常有效，現(xiàn)在更多注意的是有機污染和表面狀態(tài)相關(guān)問題。用簡單的燈清洗法可以把有機污染從Si表面除去。此外，應(yīng)特別注意溶解在水內(nèi)和氣相的臭氧在控制有機污染中的作用。酸加氧化劑清洗:酸加氧化劑清洗液配方為:HCI∶H2O2∶H2O=1∶5∶5~1∶10∶10,可溶解堿金屬離子,并生成碳酸鹽和鋁、鐵及鎂之氫氧化物,另外鹽酸中氯離子與殘留金屬離子發(fā)生絡(luò)合反應(yīng)形成易溶于水溶液的絡(luò)合物,也可去除金屬污染物。雙氧水一方面可以去除有機物污染,另外配合攪拌和超聲過程中形成的大量氣泡對表面大顆粒污染物產(chǎn)生較大沖擊力,使污染物脫離表面。清洗常用的化學試劑丙酮（ACE）：【用途】除去有機殘余物，有機顆粒；除去光刻膠。異丙醇（IPA）：【用途】溶解丙酮，將有機殘余物溶解。DI水：【用途】溶解異丙醇，帶走殘余物。?SPM:(H2SO4:H2O2:H2O）。
