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酸加氧化劑清洗:酸加氧化劑清洗液配方為:HCI∶H2O2∶H2O=1∶5∶5~1∶10∶10,可溶解堿金屬離子,并生成碳酸鹽和鋁、鐵及鎂之氫氧化物,另外鹽酸中氯離子與殘留金屬離子發(fā)生絡(luò)合反應(yīng)形成易溶于水溶液的絡(luò)合物,也可去除金屬污染物。雙氧水一方面可以去除有機(jī)物污染,另外配合攪拌和超聲過(guò)程中形成的大量氣泡對(duì)表面大顆粒污染物產(chǎn)生較大沖擊力,使污染物脫離表面。清洗操作的注意事項(xiàng)：在清洗機(jī)內(nèi)作業(yè)時(shí)，打開(kāi)機(jī)器的通風(fēng)設(shè)備，關(guān)閉外窗門，以防止有機(jī)溶劑氣體擴(kuò)散到清洗間，污染樣品，損害操作人員健康；保持清洗機(jī)內(nèi)的清潔衛(wèi)生，不擺放除超聲設(shè)備、燒杯、花籃以外的其他設(shè)備。在批次清洗工藝還是在單晶圓清洗工藝中，傳統(tǒng)的浸沒(méi)清洗仍起主導(dǎo)作用。在單晶圓清洗工藝時(shí)，這一趨勢(shì)由于太陽(yáng)電池清洗技術(shù)的需求而強(qiáng)化。該技術(shù)中，由于被加工襯底的剪切數(shù)目(shearnumber)，可選用批次加工方法。可以使選擇氣相清洗化學(xué)過(guò)程與批次加工兼容。但同時(shí)，單晶圓清洗方法（如旋轉(zhuǎn)清洗）正推進(jìn)到高端應(yīng)用領(lǐng)域。
